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超纯水是现代工业中非常重要的原材料。广泛应用于半导体、微电子、电力、化工、医药等领域。目前，反渗透膜技术生产超纯水的工艺已经非常成熟。反渗透膜能有效降低水的电导率和水中总溶解固体的含量。大部分盐组分的去除率均在95%以上，且水通量大。虽然膜污染也会发生，但通过化学清洗可以有效地解决。
此外，随着纯水制备工艺的不断进步，传统的阴阳离子交换工艺逐渐被反渗透系统所取代，而传统的混合离子交换逐渐被电去离子EDI装置所取代。反渗透+EDI强强联合制备超纯水。与传统方法相比，该系统具有出水水质高、连续生产、使用方便等优点。它具有无人值守、无酸碱、无环境污染、占地面积小、运行经济等一系列优点。它被称为“绿色”海水淡化系统。
通过控制反渗透阶段，可以制备不同纯度的脱盐水。随着反渗透级的增加，脱盐水的纯度增加，但产水量降低，水的利用率降低。因此，反渗透装置的综合使用一般不超过二级。
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