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产品详情
泽攸科技台阶仪JS2000B
产品介绍
泽攸科技全自动台阶仪JS2000B是一款高精度、高分辨率的测量设备，采用一体花岗岩结构，确保测量的稳定性与可靠性。配备双彩色摄像头，可清晰无畸变地观察样品和针尖，实现精准定位与实时监控。适用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翘曲度、应力及3D扫描成像等测量任务，并支持计划任务和多点扫描批量测试，广泛应用于半导体、材料科学等领域。其核心技术包括精密成像、自动控制和数据分析处理。
刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜等应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描
批量测试晶圆，批量处理数据等
应用领域
产品组成
突破三大核心技术
产品特色
技术指标
台阶高度最大范围：≤80um
台阶高度重复性：≤0.5nm
垂直分辨率：0.05nm
探针加力范围：0.5mg~50mg
单次扫描长度：≤55mm
晶圆尺寸：可兼容6寸、8寸Wafer
晶圆厚度：≤10mm
图像识别系统精度:定位精度优于±10um
机械动作稳定性:马拉松传送测试>500片
生产效率:WPH≥10片(单面量测≥5个位置)
案例应用
18nm样品
68um样品
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