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光干涉透射法检测元件厚度差的原理：
在激光干涉仪进行透射测量时，激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹，每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时，显示为暗条纹；当光程差为nλ+λ时，显示为亮条纹；
所以，当被检元件的两个面不平行，存在楔角时，沿楔角方向，元件的厚度逐渐增大，相应的光程差也逐渐变大，沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大，条纹越密集。
检测指标的简单说明：
PV值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。单位是λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上，就是被检元件的厚度差。
RMS值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square)，单位是λ(波长),这是一个统计值，RMS的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检测上，RMS值越小表明被检元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。
条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现，与PV值成线性关系。条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。
技术参数：
实物图：
仪器参数：
| 序号 | 名称 | GBM08A |
| 1 | 测量原理 | 菲索干涉原理 |
| 2 | 激光器 | 半导体激光器 635nm 940nm |
| 3 | 有效孔径 | 30mm （允许同时管控8个孔） |
| 4 | 标准镜面形精度 | 0.05λ |
| 5 | 面形值重复精度 | PV 0.06λ(标准片) |
| 6 | 面形值量程 | PV 0～3λ |
| 7 | 测试时间 | PV测试：1秒；条纹数测试：1秒内 |
| 8 | 夹具 | 有 |
| 9 | 软件 | PVmeter |
| 10 | 电源 | 220V 60W |
| 11 | 通讯接口 | USB |
| 12 | 重量 | 15Kg |
| 13 | 自动化接口 | 预留 |
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