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桌面式高温蒸镀仪

小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法，以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流，进入基材或基材表面，然后凝结成固体膜。

　　小型蒸镀仪包括以下基本过程：

　　（1）加热蒸发过程：包括从冷凝相变为气相的过程，并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。

　　（2）气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输，即原子或分子在周围大气中的飞行过程。

　　（3）蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即，蒸发，冷凝，成核，成核生长，形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度，因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。

特点
● 全自动抽气系统
● 旋转样品台
● 菜单驱动式“用户"键盘输入
● 快速释放头方便选择不同的头
● 约束的排气控制

以下是不同真空度不同镀膜时间镀铜样品图

原样品没有镀膜 115A 100秒机械泵

115A 100秒分子泵抽12分钟 115A 120秒分子泵抽20分钟

真空度越高越不易氧化越接近金属本色

桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
加热方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1200W
输出电压电流	电压≤12V 电流≤120A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品蒸发源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1800℃
支持蒸发坩埚类型	钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
预留真空接口	KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）