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产品详情

粉末坩埚蒸镀仪

铬是受欢迎的金属之一。铬是一种银色，有光泽，坚硬，含杂质的铬硬而脆，具有很高的耐腐蚀性。它的熔点为1857℃，密度为7.2g / cm3，。它的名字来自希腊语“chroma"，意思是颜色，因为它的颜色非常丰富。它广泛用于汽车工业，形成轮子和保险杠上的闪亮涂层。

熔点（°C）1857 密度（g / cm3）固态7.19 液体6.9 沸点： 2672.0 ℃ 热导率：90.7W/m.K (300K) 铬粉末铬颗粒

-热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源、坩埚蒸发；

腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；

泵：前级干泵，分子泵；

- Load Lock

样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；

工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；

衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；

- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

- 保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果；

以下为蒸发镀膜设备的示意图：

以下是不同真空度不同镀膜时间碳纸镀铜样品图

原样品没有镀膜 115A 100秒机械泵

115A 100秒分子泵抽12分钟 115A 120秒分子泵抽20分钟

真空度越高越不易氧化越接近金属本色

粉末坩埚蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
加热方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1200W
输出电压电流	电压≤12V 电流≤120A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品蒸发源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1800℃
支持蒸发坩埚类型	钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
预留真空接口	KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）