供应石英腔体小型溅射仪-化工机械设备网

产品详情

郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！

目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉 CVD供气系统等离子清洗机 石英腔体小型溅射仪 石英腔体小型蒸镀仪 石英管真空封口半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

KT-Z1650CVD石英腔体小型溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

石英腔体小型蒸发镀膜仪技术介绍：

针对市场上其它型号石英腔体小型蒸发镀膜仪我们做如下改进

1 腔体扩充口可增加扩展口大可扩展KF40接口方便连接分子泵或晶控传感器

2 样品可旋转大转速20转每分钟使镀膜样品更均匀

3 轻旋转机械手柄样品高度可精细调节样品距离靶材距离可精确到1mm

4 电动挡板使用人机界面程序控制打开或者关闭时间

5 可通过人机界面手动或者使用编程自动控制预蒸发恒定功率输出变换功率输出定时打开挡板（时间单位秒）关闭挡板样品转速工艺可存储工艺名称可改利如镀银200纳米厚

6 此产品已申请多项技术抄袭请慎重！！！

控温方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
大功率	≤800W
大输出电压电流	电压≤10V 电流≤80A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
挡板类型	电控
样品室	石英腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （大可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品热源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1600℃
蒸发坩埚容积	3ML
真空法兰	KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	1 膜厚在线测试 2 分子泵