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产品详情
优势
• 高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择
技术参数
| 尺寸 | SEMI F83-0304 | SEMI F84-0304 | SEMI F86-0304 |
| Cv value( Cv值) | 0.24 | 0.24 | 0.27 |
| 使用压力 | 1.0MPa(G) | ||
| 使用温度范围 | -10～80℃ | ||
| 外部泄露 | ≦3x10-12 Pa・m3/sec Helium | ||
| 阀座泄露 | ≦3x10-10 Pa・m3/sec Helium | ||
摘要:应用于IGS的高纯度金属隔膜
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