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开发纳米光学系统，用于纳米尺度下的三维结构成像，特别关注金属微结构的材料表征。结果与标准亚微米CT相比，CT表现及结果均有明显改善。NanoCT提供了比光刻图像更好的三维数据，例如不同相位的精确体积信息。
层状共晶结构的评价
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