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低加速电压下高分辨
3 KV加速电压下分辨率7 nm，5 KV加速电压时背散射电子分辨率可达10 nm
SU3500 采用全新电子光学系统，图像质量进一步提升。全新设计的低球差物镜和偏压系统保证低加速电压下的高发射束流，所以
二次电子分辨率在 3 KV 是可达 7 nm，背散射电子的分辨率在 5 KV 时可达 10 nm
减轻荷
减轻荷电扫描模式为：快速多次对一行进行扫描取得信号后再扫描下一行，因此，电子束在同一位置的停留时间得以缩短，比通常的慢扫模式对减轻荷电及电子束损伤更有效。
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