产品详情
一、产品应用:
JS-600M小型磁控溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,带磁控靶头,有水冷功能。设备操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。
磁控溅射为冷溅射,对样品表面的升温较低,适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件,溅射电流。大尺寸的真空腔体设计,满足大样品的溅射需求。标配一片金靶,纯度为99.999%,为获得高质量的金膜提供了良好的基础。
二、配置及技术指标:
1.本系统装配了水冷却磁控靶,靶面直径为50mm;
2.主机规格:L360mm*W300mm*H380mm;
3.靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm;
4.真空样品室:直径:160mm,高:110mm;
5.溅射面积:Ф50mm;
6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar;
7.离子电流表:0-100mA;
8.定时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间;
9.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管;
10.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体;
11.溅射电压:-1600 DCV;
12.飞跃真空泵(VRD-4):1.1L/S。
三、产品特点:
1.轻便、溅射面积大;
2.可以溅射铂、金、银及氧化锌;
3.溅射效率高,可水冷降温;
备注:JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材:金、铂、银。
通风机 电解质分析仪 腻子粉搅拌机 压滤机 多功能搅拌机 蒸发式冷凝器 蒸发器 高剪切乳化机 轴流式通风机 常压锅炉 管壳式换热器 冷却塔配件报价 燃气锅炉 硅橡胶捏合机 盘式真空过滤机 过滤机 混凝土搅拌机 皮带输送机报价 过滤器 螺杆式冷水机 隔膜压滤机 换热器 煤矸石粉碎机 冷却塔风机 混合器 列管冷凝器 筛分机 搅拌机 铝制散热器 离心通风机 搅拌器 品牌冷却塔 压力容器 冷冻机 气流粉碎机 油冷却器 冷凝器 闪蒸干燥机 蒸汽锅炉 冷却器 输送机报价 玻璃钢储罐 离心机 饲料粉碎机 不锈钢冷凝器 捏合机 塑料粉碎机 砂磨机 乳化机 搪瓷反应釜 散热器 反应釜 工业冷水机 对辊破碎机 反应锅 秸秆粉碎机 反击破碎机 反应锅 精密过滤器 粉碎机报价 反应器 冷冻干燥机 钢衬塑储罐 带式压滤机 冷冻离心机 钢制散热器 袋式过滤器 闭式冷却塔 高速分散机 冲击式破碎机 超微粉碎机 高速离心机 电加热反应釜 锤式破碎机 高压锅炉管 小型冷水机 真空过滤机 板框压滤机 旋转蒸发器 制冷压缩机 卧螺离心机 圆锥破碎机 中药粉碎机 万能粉碎机