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产品详情
●电源：220V 50/60HZ
●额定功率：2.5KW
●工作温度：1200℃（＜0.5 hour）
●连续工作温度：1100 ℃以下
● 推荐升温速率：≤20℃/min
●加热区长度：440mm；恒温区：220mm（误差±1℃）
● 石英搅拌管：炉管尺寸：两端管径φ60*420mm，中间管径φ100*340mm，总长1200mm
●管内压力≤0.016Mpa；进气口有旋转接头，可通入气体；
炉体结构：
●采用双层壳体结构并带有风冷系统；
●炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能减少能量损失；
●炉膛安装好后，内部也会重新涂有高纯氧化铝涂层提高反射率及设备的加热效率同时也延长了仪器的使用寿命；
●炉体加旋转装置，可实现倾斜旋转工作；倾斜角度0-40度可调，建议倾斜角度小于30.
0-10rpm转速可调，选配：正反转可调
● 标配：一对不锈钢密真空法兰（配旋转接头）和高温硅胶密封圈；
●可选配：不锈钢密封真空法兰（进气配机械压力表，压力表量程-0.1Mpa-0.15Mpa，双卡套接头，截止阀）；出气端配密封磁流体法兰（截止阀，宝塔嘴接头，KF25端口）
●为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接；
精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气等保护气体；
● 供气系统，2路质子流量计（氮气、氩气）；
● 7寸触屏昆仑通态；精密工控板控制；
●工作温度5—45℃
●压力：3*10-6Pa
●精度：±1.5%FS；重复精度：±0.2%FS
● 可选配：流量范围：1-500sccm，1-100SCCM,1-200SCCM; 气路接口为φ6.35mm卡套接口；需配G1/4的四氟软管或不锈钢通管。
气路管道采用四氟软管，和不锈钢气管，带有混气罐，通入气体单进单出，也可混气后进入炉管，
1200℃智能控温高温管式炉真空炉CVD系统 1200℃可倾斜式旋转管式炉，采用双层风冷结构，炉膛采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型；搭配两路混气质子流量控制系统。1200℃智能控温高温管式炉真空炉CVD系统 是专为高校、科研院所的实验室及工矿企业在可控多种气氛及真空状态下对金属、非金属及其它化合物进行烧结、熔化、分析而研制的设备。
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