产品详情
紧凑型设计,分辨率为4 nm*1
通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
规格
项目 | 内容 |
分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) |
加速电压 | 0.3 kV ~ 20 kV |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) |
低真空模式 | 真空范围:6 ~ 100 Pa |
电子枪 | 预对中钨灯丝 |
样品台 | 3-轴自动马达台 |
样品尺寸 | 直径80 mm |
样品高度 | 40 mm |
尺寸 | 主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm |
探测器选配 | · 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD) · 能量分散型X线探测器(EDS) |
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