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B-A型真空计BAG402
INFICON单 B-A型热阴极电离真空计BAG402 覆盖宽阔的测量范围从5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)。选择INFICON BAG402用于可及的和可再现的过程, 在一个小型的活性真空计组件中执行基本的压强测量。的支持的双灯丝提供的精度和长使用寿命。以太网选件可单系统整合。
优势
_ 测量范围从 5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)
_ 的再现性在过程压强从 10-8… 10-2毫巴的范围内为5%
_ 过压检测保护灯丝防止过早烧毁
_ 两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝
_ 可提供以太网现场总线接口
_ 发射电流选择降低控制的复杂性
_ 易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性
_ RoHS兼容性
应用
_ 在半导体过程和传送室中的压强测量
_ 工业镀膜
_ 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制
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