产品详情
光刻烤胶机(晶圆烤胶机)产品优势以及特点:
1.可选带有保温盖,整个加热区形成一个保温腔,大大提高温度均匀度,也起到防尘作用;
2.机器可选择带有负压功能,表面带有若干吸附孔,可使被加热材料与加热板表面紧密贴合,起到受热均匀效果;
3.免受磁干扰和危害:使其成为硅晶片晶圆研发,医疗和实验室使用的好选择
4.增强红外线加热技术,
5.具有真空负压功能,表面设有若干吸附孔,可使被加热材料与表面紧密贴合,从而达到受热均匀效果;
6.带有加热保温盖,温度可设置,整个加热区形成一个保温腔,大大提高温度均匀度,也起到防尘作用;
7.自动进气功能、过温保护功能、超温报警功能,计时功能,已获得CE认证证书、实验更安全、方便!!
光刻烤胶机(晶圆烤胶机)技术参数:
加热输出功率 | 2000W |
板面温控 | 室温~350℃ |
温控模式 | LED数显温度自由设定 |
温度测试 | 内置温控与外置温控可切换 |
温度控制精度 | ±0.1 |
加热区 | 350×350mm(尺寸可定制) |
功能选项 | 真空吸附功能:无极调节真空度,使样品受热更均匀; |
顶针功能 | 直径3mm,高度30mm任意设定高度,方便取片,样品无接触,避免污染; |
限位功能 | 适合不同大小尺寸晶圆,防止样品偏移,起到固定作用; |
程序分段控制系统 | 时间设定,功率输出比设定,升温曲线,通信等 |
产品外形尺寸 | 420×460×250mm |
板面材质 | 纳米陶瓷喷砂加热面板 |
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