供应SJ6000超精密机床激光干涉仪-化工机械设备网

产品详情

中图仪器SJ6000超精密机床激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、高测速下分辨率高等特点，广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。

SJ6000超精密机床激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）SJ6000超精密机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

部分技术规格

稳频精度	0.05ppm
动态采集频率	50 kHz
预热时间	≤ 6分钟
工作温度范围	(0~40)℃
存储温度范围	(-20~70)℃
环境湿度	(0~95)%RH
线性测量距离	(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度	0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程	(0~15)m
角度测量精度	±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程	(0~15)m
平面度测量精度	±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
直线度轴向量程	短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度	短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程	短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m
垂直度测量精度	短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m