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三坐标测量仪是由测座、测头、探针等组成，是数据采集的传感器系统，三坐标测量机在对工件进行测量时，能够根据测头系统探测工件，返回工件表面的点数据，通过三坐标的软件系统计算各类几何形状、尺寸等。
中图仪器Mars系列测量仪器三坐标是移动桥式的三坐标测量机。支持触发、扫描和非接触式探测系统。能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。
1、移动桥式结构提高运动性能，确保测量精度及稳定性。
2、导轨采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性。
3、Mars系列测量仪器三坐标采用自洁式预载荷高精度空气轴承的三轴导轨，运动更平稳，更耐磨损。
4、光栅尺接近花岗岩基本的热膨胀系数，提高了设备的稳定性。
1.Pantec 测座
Pantec eagle head M7.5M8全自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆，具有高重复性以及机械式自动连接功能。
2.Pantec测头
Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的触发式测头。由测头本体和可分离测头吸盘组成，可以手动或自动改变测针的配置而不需要重新定位测针，在检测时，可节省很多时间。
1.冷干机
三坐标用气源的初级空气过滤，除水，除油，为三坐标本身所配置的精密过滤系统减轻压力，有效延长测量机的使用寿命。
2.UPS稳压电源
提供电压及断电延迟保护，防止客户现场因为电压不稳定造成测量机元器件的损坏及防止因意外断电造成正在测量过程中的数据丢失。
3.测头更换架
由于被测工件的复杂性，在实际测量工作中不可能由一个探针完成所有的测量任务，更换架可对测量机测座上的测头/加长杆/探针组合进行快速、可重复性的更换，在同一测量系统下对不同的工件进行自动化的检测。
4.夹具
三坐标夹具使用在测量机上，利用其模块化的支持和参考装置，完成对所测工件的柔性固定。
5.打印机
打印机可用于将测量报告打印输出。
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