供应
供应
产品详情
激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。它采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
中图仪器SJ6000激光干涉仪测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000激光干涉仪测量仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
▲主要镜组图
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度轴向量程 | (0~15)m |
| 平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) |
| 直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
| 直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度轴向量程 | 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m |
| 垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）SJ6000激光干涉仪测量仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
（1）友好的人机界面；
（2）丰富的应用功能模块；
（3）向导式的操作流程；
（4）简洁化的记录管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企业专属模板定制。
对机床精度再校准
三坐标测量机示值误差测量
导轨直线度检测
光刻机X轴Pitch测量
摘要:SJ5800台式粗糙度轮廓仪一
[详细]
摘要:CEM3000系列大景深台式扫描
[详细]
摘要:CEM3000系列超清成像台式扫
[详细]
摘要:VT6000共聚焦三维表面形貌
[详细]
摘要:CEM3000系列国产钨灯丝台式
[详细]
摘要:NS系列纳米级台阶测厚仪是
[详细]
摘要:中图自动影像测量仪品牌Nov
[详细]
摘要:CEM3000超高分辨率台式扫描
[详细]
通风机 电解质分析仪 腻子粉搅拌机 压滤机 多功能搅拌机 蒸发式冷凝器 蒸发器 高剪切乳化机 轴流式通风机 常压锅炉 管壳式换热器 冷却塔配件报价 燃气锅炉 硅橡胶捏合机 盘式真空过滤机 过滤机 混凝土搅拌机 皮带输送机报价 过滤器 螺杆式冷水机 隔膜压滤机 换热器 煤矸石粉碎机 冷却塔风机 混合器 列管冷凝器 筛分机 搅拌机 铝制散热器 离心通风机 搅拌器 品牌冷却塔 压力容器 冷冻机 气流粉碎机 油冷却器 冷凝器 闪蒸干燥机 蒸汽锅炉 冷却器 输送机报价 玻璃钢储罐 离心机 饲料粉碎机 不锈钢冷凝器 捏合机 塑料粉碎机 砂磨机 乳化机 搪瓷反应釜 散热器 反应釜 工业冷水机 对辊破碎机 反应锅 秸秆粉碎机 反击破碎机 反应锅 精密过滤器 粉碎机报价 反应器 冷冻干燥机 钢衬塑储罐 带式压滤机 冷冻离心机 钢制散热器 袋式过滤器 闭式冷却塔 高速分散机 冲击式破碎机 超微粉碎机 高速离心机 电加热反应釜 锤式破碎机 高压锅炉管 小型冷水机 真空过滤机 板框压滤机 旋转蒸发器 制冷压缩机 卧螺离心机 圆锥破碎机 中药粉碎机 万能粉碎机
