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芯片生产用水为电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm的超纯水。超纯水的生产难度很高,一般工艺很难达到其纯度。超纯水生产工艺是十分复杂的,因此需要取用好几倍的原水。生产一个2g重的芯片大概需要32公斤的水资源。
传统超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂进行,此工艺需要进行树脂再生,既耗费物力又耗费人工。莱特莱德经常采用高效反渗透技术和EDI设备,结合新型反渗透膜分离技术和EDI技术制备超纯水。与传统工艺相比,该工艺运行成本低且运行可靠,整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处理量。自动化程度高,遇故障立即自停,具有自动保护功能。膜组件为复合膜卷制而成,具有较高的溶质分离率和透过率。能耗低、水利用率高、运行成本低。莱特莱德超纯水设备出水电导率可达18.2mΩ,满足芯片行业用水需求。
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