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集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。莱特莱德超纯水制取技术可以替代传统的离子交换装置,生产出高达18MΩ.cm的超纯水。超纯水设备用于集成电路行业具有如下优势:
1、工作压力高,不漏水:模块采用了橡胶O型圈多层密封,保证了模块耐压高、不漏水。
2、无化学物质使用:浓水中填充了树脂,降低了膜电阻,系统中不需要浓水循环及注盐在淡水室填充分层排列树脂,更有利于弱电解质的去除。
3、系统简单,配管简单:仅需3支配管(进水管,产品水管和浓水管),无循环泵及注盐系统,不需要 PLC 程序控制器,系统建造成本和维护费用低。
4、浓水回收,浓水水质优于原水水质:可回收至RO前继续使用。
5、系统不注盐:不产生氯气破坏模块内部结构及污染周围环境,独立的模块电源控制,单一模块维修时不影响其他模块正常工作。
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