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二、晶圆检测显微镜仪器的主要技术指标 |
金相显微镜组件及规格 | 目镜 | 大视野 | WF10X(Φ18mm) | WF20X(Φ8.5mm) | 平场分划 | 10X(0.10mm/格值) | 物镜 | 平场消色差 (无盖玻片) | 放大倍数/数值孔径 | 工作距离 | PL5X/0.12 | 18.3 | PLL10X/0.25 | 8.9 | PLL20X/0.40 | 8.7 | PLL40X/0.60(弹簧) | 3.7 | PL50X/0.70(弹簧) | 2.02 | PL80X/0.80(弹簧) | 0.96 | 目镜筒 | 三目镜 | 转轴式,倾斜30度,包括检偏振片 | 仪器主体 | 粗调、微调手轮,微调格值为0.002MM(底座及支架) | 偏光装置 | 可插入式起偏振片,垂直照明装置,能进行一般金相分析、微粒分析测试,还能对不透明物体进行分析、观察。 | 载物台 | 尺寸:250 X 230mm有快速移动装置,移动范围:153 X 153mm | 调焦机构 | 同轴粗微动调焦机构, 调焦范围15mm 微动格值2μm | 照明系统 | 落射照明 6V 20W ,卤素灯,亮度可调带起偏振片落射照明 6V 20W ,卤素灯,亮度可调 | 滤片组 | 蓝、黄、绿、磨砂 | 转换器 | 滚珠位内弯,五孔转换 |
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三、晶圆检测显微镜仪器主体分解 |
 | DMM-600金相显微镜配有带屈光补偿的棱镜型双目镜筒。能调节左右目镜的屈光度。这种设计使得在调节瞳距时,物镜的齐焦面保持不变,即使更换不同倍率的物镜,也只需做少量的调焦。目镜圈由橡皮制成,以便更舒适的观察。 |  | 高质量的五孔转换器内部设有机械定位。此设计使旋转更平滑,也增强了耐用性。同时,转换器周圈带有突楞,使得旋转更加方便,无需触及物镜。 | 双目镜筒 | | | 五孔转换器 | | | 
| X、Y轴平行移动,X轴50mm,Y轴70mm,高精度的平移设计确保观察式样水平移动,移动精度0.1mm。 |
| 载物台调动手轮 | | |  | 同轴粗微调焦手轮位置在载物台后边下方,而且他和载物台移动手柄的位置接近,因此操作者无需扭曲肩膀,可保持自然的姿势进行操作。 |  | 多功能三目头设计,使得三目头既可接彩色摄像器,也可接数码相机,使传统的人眼观察同时还可以电脑观察或者数码相机拍照。 |
| 同轴粗微调焦手轮 | | | 三目头 | | 此牢固安装在主机上的机械载物台是内置式双层机构,可在XY方向进行平滑移动。由于这种机构是内置式设计,而不是附加而不是附加的,因而X向导轨不会突出载物台台面,这种设计增大了载 |  | 物台上方的空间,使对标本操作变得更方便、快捷,同时,载物台在X轴的移动也更加平滑和精密。载物台表面光滑,使载玻片能够更平滑、自如地移动。 |
| | 双层机构机械载物台 | |
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四、晶圆检测显微镜系统的组成 |
1、金相显微镜DMM-600 2、电脑适配镜 3、彩色摄像器(CCD) 4、A/D转换器(彩色图象采集设备) 5、计算机(选购) |
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五、晶圆检测显微镜选购部分 |
1.金相分析软件 2.200万像素成像器,300万像素成像器,400万像素成像器 |
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六、晶圆检测显微镜同类仪器的比较 |
1、DMM-600C晶圆检测显微镜 2、DMM-600D晶圆检测显微镜 3、DMM-660C晶圆检测显微镜 4、DMM-660D晶圆检测显微镜 |
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七、晶圆检测显微镜相关设备 |
金相设备 金相抛光机 金相切割机 金相砂纸 金相切割片 金相镶嵌机 金相预磨机 显微硬度计 端淬试验机 |